白光干涉物镜
我们的白光干涉测量物镜可实现高精度、非接触式三维表面轮廓测量。通过解读干涉条纹，它们可以测量形貌和缺陷，用于航空航天、光伏和微电子等行业的质量控制。
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米劳干涉物镜
我们的物镜采用紧凑型结构设计，可呈现高对比度干涉条纹，确保参考镜与样品表面之间精确的光路对准。它们兼容所有无限远聚焦金相显微镜，即使对于反射率低至 0.5% 的物体，也能精确测量表面形貌。
型号 | WLI-Mir-10X-0.25 | WLI-Mir-10X-0.3 | WLI-Mir-20X | WLI-Mir-50X | |
放大 | 10X | 10X | 20X | 50X | |
光学设计 | 米劳 | ||||
数值孔径 (NA) | 0.15 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | |
齐焦距离（毫米） | 45 | ||||
工作距离 (mm) | 7.4 | 7.4 | 3.5 | 1.7 | |
焦距（mm） | 20 | 20 | 10 | 4 | |
景深（µm） | 10 | 10 | 3.5 | 1.4 | |
分辨率 (µm) | 1.34 | 1.34 | 0.8 | 0.61 | |
视场角（毫米） | ½”CCD | 0.65 x 0.45 (φ0.8) | 0.65 x 0.45 (φ0.8) | 0.33 x 0.23 (φ0.4) | 0.13 x 0.09 (φ0.16) |
½”CCD+0.5X | 1.3 x 0.9 (φ1.6) | 1.3 x 0.9 (φ1.6) | 0.65 x 0.45 (φ0.8) | 0.26 x 0.18 (φ0.32) | |
直径（mm） | 28 | 30 | 28 | 27.6 | |
重量（g） | 85 | 114 | 102 | 110 | |
工作波长（纳米） | 400〜700nm | ||||
样品反射率（%） | ≥0.5％ | ||||
接口 | 4/5X1/35’（M20.32X0.705） | ||||
林尼克干涉物镜
我们的干涉仪透镜采用林尼克结构设计，配备两个完美匹配的物镜，确保光程完全一致，从而实现高精度测量。它们兼容无限远聚焦显微镜和定制系统，专为长工作距离而设计，可测量反射率低至 0.5% 的样品。创新的白光设计即使在处理复杂样品时也能呈现清晰的表面图像和干涉条纹。
型号 | WLI-Lin-5X | WLI-Lin-10X | |
放大 | 5X | 10X | |
光学设计 | 链接 | ||
数值孔径 (NA) | 0.12 | 0.25 | |
| 齐焦距离（毫米） | 80 | 80 | |
| 工作距离 (mm) | 17 | 17 | |
| 景深（µm） | 40 | 10 | |
| 分辨率 (µm) | 1.34 | 1.34 | |
视场角（毫米） | ½”CCD | 1.3×0.9 (φ1.6) | 0.65×0.45 (φ0.8) |
| ½”CCD+0.5X | 2.6×1.8 (φ3.2) | 1.3×0.9 (φ1.6) | |
直径（mm） | 28 | 30 | |
重量（克） | 85 | 114 | |
接口 | 4/5×1/36' | ||
可选项 | 95mm 可旋转共焦适配器 | ||
迈克尔逊干涉物镜
这款紧凑型干涉仪采用集成于长工作距离物镜中的分光镜设计，将参考镜移至侧面，从而优化了性能。它兼容所有无限远聚焦金相显微镜，可提供高对比度的干涉条纹，并能测量反射率低至 0.5% 的物体，是放大倍率在 5 倍或以下应用的理想之选。
型号 | WLI-Mich-5X | |
放大 | 5X | |
光学设计 | 迈克尔逊 | |
数值孔径 (NA) | 0.15 | |
焦距（mm） | 40 | |
工作距离 (mm) | 9 | |
景深（µm） | 43 | |
分辨率 (µm) | 2.8 | |
视场角（毫米） | ½”CCD | 1.3×0.9 (φ1.6) |
½”CCD+0.5X | 2.6×1.8 (φ3.2) | |
工作波长 | 400 – 700纳米 | |
样品反射率 | ≥0.5％ | |
接口 | 4/5X1/35’（M20.32X0.705） | |
