超拋光光學應用說明的精密製造
實現高功率激光應用
高附加值光子學服務的技術引擎之一是在高功率激光器和應用領域，從科學到精密材料加工。 高功率激光光學和精密光學應用需要嚴格的光學質量。 這種製造工藝帶來了新的能力，包括材料開發、拋光技術、塗層技術以及計量技術。 本應用說明專門介紹了我們的超拋光新功能。
工作原理
光學元件的超級拋光能力可以在窗戶、鏡子和其他各種尺寸、厚度和材料的平面光學元件上產生極其光滑的表面。 超拋光錶面是指粗糙度小於1nm的表面。 整個超拋光工藝包括多軸主軸拋光和磁性研磨拋光，如圖 1 所示。製造後，使用原子力顯微鏡 (AFM) 測量感興趣區域的表面粗糙度，如如圖 2 所示。測得的粗糙度平均值小於 5 Å。
上述超拋光工藝適用於各種類型的光學材料。 表 1 列出了一些常用的材料及其性能。
| 材料 | 折射率（588nm） | 傳輸（嗯） | 光學均勻性 | 應力均勻性 (nm/cm) |
| H-K9L | 1.5164 | 0.33-2.1 | 2x10e-6 | 2 |
| JGS1 | 1.4586 | 0.185-2.5 | 8x10e-6 | 2-4 |
| 賀利氏 313 | 1.4586 | 0.185-2.5 | <10e-5 | ≤5 |
| 康寧7980 | 1.4586 | 0.185-2.5 | - | ≤5 |
超拋光光學的應用
憑藉超拋光光學器件的新功能，鏡子/鏡頭/窗戶的功率處理能力得到了顯著提高。
這擴展了新市場，特別是在以下領域：
- 腔增強吸收光譜 (CEAS)
- 環形激光陀螺儀 (RLG)
- 用於共聚焦顯微鏡和流式細胞術的綠色氦氖激光器
SIOM 和淡馬錫研究實驗室
