白光成像与动态干涉仪
在复杂的工业环境中进行精确的实时测量，我们的干涉仪是理想之选。工业级瞬态干涉仪可监测振动和动态事件，而白光干涉仪则可对半导体晶圆等关键部件进行快速非接触式检测，并通过先进的处理技术实现可靠的精度。
| 型号 | 型号 WL_NanoWhite25 这款工业级白光干涉仪即使在半导体和光学器件生产等严苛环境下也能提供快速、非接触式测量。它采用先进的算法，可提供高度精确、可靠的测量结果。 | 型号 WL_Dynamic25 即使在具有挑战性的工业环境中，这种瞬态干涉仪也能实时捕获振动和其他瞬态事件的数据。 |
| 可测量参数 | 测量反射材料和光学元件的三维表面形貌、粗糙度、台阶高度和薄膜厚度 | 测量反射材料和光学元件的表面形貌，以及透明光学元件和成像系统的透射波前 |
| 数据采集模式 | 垂直扫描干涉测量（VSI）和相移干涉测量 | 振动不敏感瞬时干涉测量方法 |
| 校准系统 | 将NIST可溯源标准与自动校准算法相结合 | 结合十字线精确对准和快速对准 |
| 测量范围 | 10 毫米（VSI）/ 150 纳米（PSI） | 光束直径：1英寸（25毫米） |
| 视野 | 20×：0.87×0.65 毫米 | 视场角对准：±0.5度 |
| 相机参数 | 分辨率：2048×2448 | 最大帧率：60帧/秒 | 数字输出：12位 | 分辨率：4096×3000像素 | 最大帧率：45Hz | 数字输出：12位 |
| 扫描速度 | 1 毫米/秒（快速模式） 100 μm/s（精密模式） | 曝光时间：≥50 µs |
| 光学变焦 | 5倍/10倍/20倍/50倍物镜 | 通过Zoom |
| 安装方法 | 主动式隔振平台，可水平或垂直安装 | 水平或垂直安装 |
| 尺寸 | 120×80×65 cm | 55×24×12 cm |
| 重量 | ≤58公斤 | ≤28公斤 |
