Witlichtbeeldvorming en dynamische interferometer
Voor nauwkeurige, realtime metingen in complexe industriële omgevingen bieden onze interferometers de oplossing. De industriële transiënte interferometer meet trillingen en dynamische gebeurtenissen, terwijl de witlichtinterferometer snelle, contactloze inspectie van kritische componenten zoals halfgeleiderwafers mogelijk maakt en betrouwbare nauwkeurigheid levert dankzij geavanceerde verwerkingstechnieken.
| Onderdeel nummer | Model WL_NanoWhite25 Deze industriële witlichtinterferometer maakt snelle, contactloze metingen mogelijk, zelfs in veeleisende omgevingen zoals de productie van halfgeleiders en optische componenten. Dankzij geavanceerde algoritmen levert het apparaat zeer nauwkeurige en betrouwbare resultaten. | Model WL_Dynamic25 Deze transiënte interferometer registreert realtime gegevens over trillingen en andere transiënte gebeurtenissen, zelfs in veeleisende industriële omgevingen. |
| Meetbare parameter: | Het meten van 3D-oppervlaktetopografie, ruwheid, staphoogte en filmdikte van reflecterende materialen en optische componenten. | Het meten van de oppervlaktemorfologie van reflecterende materialen en optische elementen, evenals het transmissiefront van transparante optische elementen en beeldvormingssystemen. |
| Gegevensverwervingsmodus | Verticale scaninterferometrie (VSI) en faseverschuivingsinterferometrie | Trillingsongevoelige momentane interferometrische meetmethode |
| Kalibratiesysteem | Het combineren van NIST-traceerbare standaarden met automatische kalibratiealgoritmen. | Het combineren van nauwkeurige richtkruisuitlijning met snelle uitlijning. |
| Meetbereik | 10 mm (VSI) / 150 nm (PSI) | Diameter van de lichtstraal: 1 inch (25 mm) |
| Gezichtsveld | 20×: 0.87×0.65 mm | Veldhoekuitlijning: ±0.5 graden |
| Camera-parameters | Resolutie: 2048×2448 | Maximale framesnelheid: 60 fps | Digitale uitvoer: 12-bits | Resolutie: 4096×3000 pixels | Maximale framesnelheid: 45 Hz | Digitale uitvoer: 12 bit |
| Scan snelheid | 1 mm/s (snelle modus) 100 μm/s (precisiemodus) | Belichtingstijd: ≥50 µs |
| Optische zoom | 5× / 10× / 20× / 50× doelstellingen | Zoom |
| Installatie Methode | Actief trillingsisolatieplatform, horizontale of verticale installatie. | Horizontale of verticale installatie |
| Afmetingen | 120 × 80 × 65 cm | 55 × 24 × 12 cm |
| Gewicht | ≤ 58 kg | ≤ 28 kg |
