Daugiagalvių UV lazerinių apdorojimo sistemų tobulinimas
Autorius: Bryanas Ng – rinkodaros vadovas
Paskelbta:
Paskutinį kartą redaguota:
1. Įvadas
Daugiagalvės UV lazerinės apdorojimo sistemos plačiai naudojamos didelio tikslumo gamybos procesuose, tokiuose kaip spausdintinių plokščių gręžimas, FPC pjovimas, stiklo braižymas ir mikrostruktūrų formavimas. Šios sistemos padalija vieną didelės galios UV lazerio šaltinį į kelias lygiagrečias apdorojimo galvutes, taip užtikrindamos didelį našumą ir išlaikydamos mikronų lygio tikslumą.
Svarbus tokių sistemų aspektas yra spindulio valdymas – galimybė greitai ir tiksliai moduliuoti, blokuoti arba reguliuoti lazerio spindulio išvestį prieš jam pasiekiant ruošinį. Be efektyvaus spindulio sinchronizavimo, pasroviui esanti optika gali būti veikiama nereikalingos UV spinduliuotės, todėl sutrumpėja komponentų tarnavimo laikas ir gaunami nepastovūs apdorojimo rezultatai.
2. Esamos sistemos apžvalga
Įprastoje konfigūracijoje 20 W UV lazeris nukreipiamas per veidrodžių , spindulio plėtiklių (BET) , spindulio daliklių (BS) , slopintuvų (AT) ir skaitytuvo / F-Theta lęšių seriją . Spindulis padalijamas į kelis kanalus (pvz., 4 × 10 W išvestis), kad būtų galima vienu metu apdoroti kelias sritis.
Pateiktame sistemos išdėstyme „Upgrade“ modulis yra tiesiai po lazerio šaltinio ir prieš spindulio plėtimo bei skaidymo etapus. Ši vieta idealiai tinka spindulio valdymo moduliui įvesti.
3. Siūlomas atnaujinimas
Rekomenduojame dabartinį „Upgrade“ pakeisti Pockelso elementu kartu su poliarizuojančio spindulio dalikliu (PBS).
a. Pokelso ląstelių funkcija
- Veikia kaip elektrooptinis jungiklis, keičiantis spindulio poliarizacijos būseną reaguodamas į taikomą įtampą.
- Įgalina greitą sinchronizavimą (perjungimo greitis per mikrosekundę) ir impulsų energijos moduliavimą.
b. PBS funkcija
Kai jis suporuotas su Pockelso elementu , jis leidžia tiksliai valdyti, ar spindulys siunčiamas pasroviui, ar nukreipiamas į spindulio išmetimą.
Praleidžia vieną poliarizaciją (p poliarizaciją), tuo pačiu atspindėdamas ortogonalią poliarizaciją (s poliarizaciją).
4. Pockels ląstelės + PBS integracijos privalumai
| Naudotis | Poveikis sistemai |
|---|---|
| Greitas spindulio sinchronizavimas | Įgalina tikslų ekspozicijos laiką, kuris yra labai svarbus greitam nuskaitymui. |
| Prailgintas optikos tarnavimo laikas | Sumažina nereikalingą UV apkrovą pasroviui esančiai optikai. |
| Vienoda proceso kokybė | Užtikrina nuoseklų energijos tiekimą visoms apdorojimo galvutėms. |
| Sistemos sauga | Veikia kaip saugus apsauginis įtaisas, blokuojantis spindulį tuščiosios eigos arba techninės priežiūros metu. |
| Energijos efektyvumas | Sumažina lazerio energijos švaistymą, kai galvutės aktyviai neapdoroja. |
5. Programos
Šis spindulių valdymo atnaujinimas idealiai tinka:
- PCB ir FPC lazerinis pjovimas/gręžimas
- Stiklo ir safyro raižymas
- Puslaidininkių plokštelių mikroapdirbimas
- Plėvelių ir dangų mikrostruktūravimas
6. Išvada
Integruodami Pockelso celę ir PBS „atnaujinimo“ pozicijoje į daugiagalvę UV lazerinę sistemą, gamintojai įgyja tikslią ir greitą lazerio išvesties kontrolę, o tai pagerina proceso kokybę, pailgina komponentų tarnavimo laiką ir saugesnį veikimą. Šis atnaujinimas yra patikrintas sprendimas pramonės šakoms, kurioms reikalingas tiek našumas, tiek tikslumas UV lazerinio mikroapdirbimo srityje.
