백색광 이미징 및 동적 간섭계
복잡한 산업 환경에서 정밀하고 실시간 측정을 위해서는 당사의 간섭계가 최적의 솔루션을 제공합니다. 산업용 과도 간섭계는 진동 및 동적 현상을 모니터링하며, 백색광 간섭계는 반도체 웨이퍼와 같은 중요 부품의 신속하고 비접촉식 검사를 가능하게 하여 첨단 기술을 통해 신뢰할 수 있는 정확도를 제공합니다.
| 부품 번호 | 모델 WL_NanoWhite25 이 산업용 백색광 간섭계는 반도체 및 광학 부품 생산과 같은 까다로운 환경에서도 빠르고 비접촉식 측정을 제공합니다. 고급 알고리즘을 사용하여 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. | 모델 WL_Dynamic25 이 과도 간섭계는 까다로운 산업 환경에서도 진동 및 기타 과도 현상에 대한 실시간 데이터를 포착합니다. |
| 측정 가능한 매개변수 | 반사 재료 및 광학 부품의 3D 표면 지형, 거칠기, 단차 높이 및 필름 두께 측정 | 반사 재료 및 광학 소자의 표면 형태 측정, 그리고 투명 광학 소자 및 이미징 시스템의 투과 파면 측정 |
| 데이터 수집 모드 | 수직 스캐닝 간섭계(VSI) 및 위상 편이 간섭계 | 진동에 둔감한 순간 간섭 측정 방법 |
| 교정 시스템 | NIST 추적 가능 표준과 자동 교정 알고리즘의 결합 | 정밀한 십자선 정렬과 빠른 정렬의 결합 |
| 측정 범위 | 10mm (VSI) / 150nm (PSI) | 빔 직경: 1인치(25mm) |
| 시야 | 20배율: 0.87×0.65 mm | 시야각 정렬: ±0.5도 |
| 카메라 매개 변수 | 해상도: 2048×2448 | 최대 프레임률: 60fps | 디지털 출력: 12비트 | 해상도: 4096×3000 픽셀 | 최대 프레임률: 45Hz | 디지털 출력: 12비트 |
| 스캔 속도 | 1 mm/s (고속 모드) 100 μm/s (정밀 모드) | 노출 시간: ≥50 µs |
| 광학 줌 | 5배/10배/20배/50배 대물렌즈 | 줌 |
| 설치 방법 | 능동형 진동 차단 플랫폼, 수평 또는 수직 설치 가능 | 수평 또는 수직 설치 |
| 크기 | 120 × 80 × 65 cm | 55 × 24 × 12 cm |
| 중량(평량) | 58kg 이하 | 28kg 이하 |
