UV zrcala: Odraz budućnosti optičkih sustava
Autor: Bryan Ng – voditelj marketinga
Urednik: Qu Yingli – direktor istraživanja i razvoja
Objavljeno na:
Zadnji put uređeno:
1. Razumijevanje UV zrcala
Optička zrcala imaju reflektirajuće površine koje mogu reflektirati svjetlost i obično se koriste za savijanje ili zbijanje optičkog sustava. UV zrcala su specijalizirana zrcala napravljena za reflektiranje ultraljubičastog (UV) svjetla. Ove vrste zrcala se obično koriste u različitim primjenama kao što su medicinsko snimanje, proizvodnja poluvodiča, fluorescentna mikroskopija, pa čak i astronomija.
UV ogledala zahtijevaju odabir specifičnih materijala i premaza. Različite primjene UV refleksije zrcala razlikuju se na različitim valnim duljinama zbog kombinacije čimbenika, kao što su materijal podloge, debljina i sastav premaza te upadni kut. Razumijevanje i procjena načina na koji ovi čimbenici utječu na svojstva UV svjetla ključni su za projektiranje zrcala za specifične primjene.
2. Primjena UV zrcala
2.1 Medicinska industrija
UV zrcala imaju široku primjenu u medicini. U medicinskom oslikavanju postoje različite tehnike oslikavanja, kao što je fluorescentna mikroskopija, koje se oslanjaju na UV fluorescenciju. To poboljšava vizualizaciju specifičnih bioloških markera i pomaže u dijagnozi bolesti. Ostale upotrebe takvih zrcala uključuju UV sterilizaciju medicinske opreme i stvrdnjavanje stomatoloških materijala u stomatologiji.
2.2 Proizvodnja poluvodiča
Industrija poluvodiča oslanja se na UV zrcala za procese fotolitografije, ključni korak u proizvodnji integriranih sklopova. UV zrcala koriste se za precizno oblikovanje silicijskih čipova, usmjeravanjem i fokusiranjem ultraljubičastog svjetla na poluvodičke pločice presvučene fotorezistom. To osigurava proizvodnju manjih i učinkovitijih elektroničkih komponenti.
2.3 Laserski sustavi
Razni UV laserski sustavi koriste UV zrcala za usmjeravanje UV svjetla. Ovi laseri se kreću od lasera relativno niske snage koji se koriste u LASIK kirurgiji do lasera mnogo veće snage koji se koriste u sigurnosti. Ovisno o snazi i frekvenciji lasera, za takve primjene mogu biti potrebna posebna UV zrcala. Na primjer, laser veće snage može zahtijevati zrcalo koje ima veću toleranciju na toplinu i može brzo raspršiti toplinu, dok bi zrcalo koje se koristi u preciznijim primjenama kao što je LASIK kirurgija oka zahtijevalo veću kvalitetu površine.
3. Vrste UV zrcala
Različite vrste UV zrcala mogu se razlikovati pomoću njihovih sastavnih materijala i procesa proizvodnje. Najčešća UV ogledala su dielektrična ogledala ili ogledala presvučena metalom. UV ogledala se također mogu razlikovati prema primjeni za koju su dizajnirana. To su često prilagođene verzije dielektričnih zrcala i zrcala s metalnim premazom, s različitim podlogama, premazima, debljinama i proizvodnim procesima. Neke najčešće korištene vrste zrcala su laserska zrcala i ultrabrza zrcala.
3.1 Širokopojasna dielektrična zrcala
Materijal: BK7 ili topljeni silicij
Tolerancija dimenzije: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerancija debljine: ± 0.2mm
Kvaliteta površine: 20/10 SD
Prozirni otvor blende: > 90%
Refleksija: > 99%
Upadni kut: 45 °
Ravnost: < λ/10 @ 632.8 nm po rasponu od 25 mm
ižlijebiti: Zaštitni<0.5mmx45°
Premazivanje: Dielektrik HR
Prag oštećenja: >5J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm
Specifikacije 1: Wavelength Opto-Electronic Širokopojasna dielektrična zrcala
Širokopojasna dielektrična zrcala dizajnirana su da pokažu visoku reflektivnost u širokom rasponu valnih duljina unutar elektromagnetskog spektra. Za razliku od konvencionalnih zrcala koja su optimizirana za refleksiju na određenoj valnoj duljini ili u uskom spektralnom pojasu, širokopojasna dielektrična zrcala dizajnirana su da učinkovito reflektiraju svjetlost u širokom rasponu frekvencija, uključujući UV, vidljivo i infracrveno (IR) područje.
| Broj dijela | Valna duljina (nm) | Dimenzija (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Reflektivnost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-B1 | 350 - 400 | 25.4 | 6.35 | Spojeni silicij | > 99 |
| RFS-30-5-B1 | 350 - 400 | 30.0 | 5.00 | Spojeni silicij | > 99 |
| RFS-1.5-6.35-B1 | 350 - 400 | 38.1 | 6.35 | Spojeni silicij | > 99 |
| RFS-1.5-9.5-B1 | 350 - 400 | 38.1 | 9.50 | Spojeni silicij | > 99 |
| RFS-2-9.5-B1 | 350 - 400 | 50.8 | 9.50 | Spojeni silicij | > 99 |
Ta se zrcala izrađuju taloženjem više dielektričnih materijala s različitim indeksima loma na podlogu. Raspored i debljina ovih materijala stvaraju efekte interferencije koji povećavaju refleksiju zrcala u širokom spektru. To omogućuje prilagodbu zrcala ovisno o određenim aplikacijama i potrebama. Robusnija su i otpornija na utjecaje okoliša od zrcala obloženih metalom. Međutim, proizvodni proces nije tako jednostavan što ga čini skupljim proizvodom u proizvodnji u usporedbi s metalnim parnjakom.
3.2 Ogledala obložena metalom
Materijal: BK7 ili topljeni silicij
Tolerancija dimenzije: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerancija debljine: ± 0.2mm
Kvaliteta površine: 20/10 SD
Prozirni otvor blende: > 90%
Upadni kut: 45 °
Ravnost: < λ/10 @ 632.8 nm
Zaštićeni aluminij: Ravg>90% @ 400nm-2µm
Zaštićeno srebro: RProsjek>97% na 400 nm-2 µm
Prag oštećenja: >1 J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm
Specifikacije 2: Wavelength Opto-Electronic Širokopojasna metalna zrcala
Metalom obložena UV zrcala proizvode se premazivanjem odgovarajuće podloge tankim slojem metalnog filma aluminija ili srebra korištenjem različitih tehnika kao što su fizičko taloženje iz parne faze (PVD) ili kemijsko taloženje iz parne faze (CVD). Aluminij i srebro su dva uobičajena metala koja se koriste za premaze u takvim zrcalima. Zrcala obložena aluminijem su isplativa i široko se koriste za UV primjene, jer pokazuju izvrsnu reflektivnost. Međutim, aluminijski premazi mogu s vremenom biti podložni oksidaciji, što može utjecati na njihove reflektirajuće performanse. Takva zrcala zahtijevaju često održavanje i mjere opreza kako bi se očuvala njihova reflektirajuća priroda.
| Broj dijela | Talasna dužina | Dimenzija (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Reflektivnost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-A | 450 nm – 20 µm | 25.4 | 6.35 | Spojeni silicij | > 90% @ 450nm – 2µm |
| RFS-30-5-A | 450 nm – 20 µm | 30.0 | 5.00 | Spojeni silicij | > 90% @ 450nm – 2µm |
| RFS-1.5-6.35-A | 450 nm – 20 µm | 38.1 | 6.35 | Spojeni silicij | > 90% @ 450nm – 2µm |
| RFS-1.5-9.5-A | 450 nm – 20 µm | 38.1 | 9.50 | Spojeni silicij | > 90% @ 450nm – 2µm |
| RFS-2-9.5-A | 450 nm – 20 µm | 50.8 | 9.50 | Spojeni silicij | > 90% @ 450nm – 2µm |
| RFS-1-6.35-S | 450 nm – 20 µm | 25.4 | 6.35 | Spojeni silicij | > 97% @ 450nm – 2µm |
| RFS-30-5-S | 450 nm – 20 µm | 30.0 | 5.00 | Spojeni silicij | > 97% @ 450nm – 2µm |
| RFS-1.5-6.35-S | 450 nm – 20 µm | 38.1 | 6.35 | Spojeni silicij | > 97% @ 450nm – 2µm |
| RFS-1.5-9.5-S | 450 nm – 20 µm | 38.1 | 9.50 | Spojeni silicij | > 97% @ 450nm – 2µm |
| RFS-2-9.5-S | 450 nm – 20 µm | 50.8 | 9.50 | Spojeni silicij | > 97% @ 450nm – 2µm |
UV ogledala se također mogu razlikovati prema primjeni za koju su dizajnirana. To su često prilagođene verzije dielektričnih zrcala i zrcala s metalnim premazom, s različitim podlogama, premazima, debljinama i proizvodnim procesima. Neke najčešće korištene vrste zrcala su laserska zrcala i ultrabrza zrcala.
3.3 Zrcala laserske linije
Materijal podloge: N-BK7 i topljeni silicij
Tolerancija dimenzije: + 0.0 / -0.25 mm
Tolerancija debljine: ± 0.25mm
Kvaliteta površine: 10/5 SD
Prozirni otvor blende: > 90%
Refleksija: >99% na 45°
Upadni kut: 0-45 °
Ravnost: < λ/10 @ 632.8 nm
Disperzija grupnog kašnjenja: < 30fs² (za s & p-polarizirano svjetlo)
Premazivanje: HR @ 350-400 nm / 510-580 nm / 950-1150 nm
Prag oštećenja pri 20ns, 20Hz: 20 J/cm2 za 1064nm / 15 J/cm2 za 532nm / 10 J/cm2 za 355 nm
Specifikacije 3: Wavelength Opto-Electronic Ogledala laserske linije
Zrcala s laserskim linijama idealna su za primjene koje zahtijevaju refleksiju ili preusmjeravanje laserskih zraka, posebno u zadacima poput upravljanja snopom ili savijanja snopa. Ova zrcala dizajnirana su s višim pragovima oštećenja za lasere velike snage. Ova zrcala se obično koriste za neodimijske YAG lasere, ali se mogu prilagoditi i za lasere unutar UV spektra.
| Broj dijela | Valna duljina (nm) | Dia (mm) | ET (mm) | Materijal | Reflektivnost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-0.75-3.2U | 355 | 19.1 | 3.2 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-0.75-9.5U | 355 | 19.1 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-20-2U | 355 | 20 | 2 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1-3U | 355 | 25.4 | 3 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1-6U | 355 | 25.4 | 6 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1-6.3U | 355 | 25.4 | 6.3 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1-9.5U | 355 | 25.4 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-30-5U | 355 | 30.1 | 5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1.5-3U | 355 | 38.1 | 3 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1.5-9.5U | 355 | 38.1 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-38.5-3U | 355 | 38.5 | 3 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-50-5U | 355 | 50 | 5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-2-6.3U | 355 | 50.8 | 6.3 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-2-9.5U | 355 | 50.8 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1-9.5V | 266 | 25.4 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-30-5V | 266 | 30 | 5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-1.5-9.5V | 266 | 38.1 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
| RFS-2-9.5V | 266 | 50.8 | 9.5 | Spojeni silicij | 99.5 |
3.4 Ultrabrza zrcala
Materijal: Spojeni silicij
Tolerancija dimenzije: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerancija debljine: ± 0.2mm
Kvaliteta površine: 20/10 SD
Prozirni otvor blende: > 80%
Refleksija: > 99%
Upadni kut: 45 °
Ravnost: < λ/10 @ 632.8 nm
Disperzija grupnog kašnjenja: < 30fs² (za s & p-polarizirano svjetlo)
Premazivanje: HR
Prag oštećenja: >100mJ/cm² na 800nm, 50fs, 50Hz
Specifikacije 4: Wavelength Opto-Electronic Ultrabrza ogledala
Ultrabrza zrcala su dizajnirana za ultrabrze lasere. To su laseri koji emitiraju ultrakratke impulse, tj. svjetlosne impulse s trajanjem od femtosekundi ili pikosekundi. Ova zrcala imaju visoke pragove oštećenja i nisko grupno disperzijsko kašnjenje (GDD). GDD je mjera koliko su različite frekvencije unutar impulsa odgođene jedna u odnosu na drugu. Zrcalo s niskim GDD-om je ključno kada je upravljanje vremenskim karakteristikama ultrakratkih laserskih impulsa kritično.

Gore prikazani grafikon odnosi se na ultrabrzo zrcalo od taljenog silicijevog dioksida. Kao što je prikazano, zrcalo ima GDD manji od 30fs² (za s & p-polariziranu svjetlost), između 370nm i 420nm. Ovo svojstvo čini takva zrcala vrlo korisnima u područjima kao što su spektroskopija, obrada materijala i medicinska industrija.
| Broj dijela | Valna duljina (nm) | Dimenzija (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Disperzija grupnog kašnjenja |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-UM1 | 355 - 455 | 25.4 | 6.35 | Spojeni silicij | < 30 fs² |
| RFS-30-5-UM1 | 355 - 455 | 30.0 | 5.00 | Spojeni silicij | < 30 fs² |
| RFS-1.5-6.35-UM1 | 355 - 455 | 38.1 | 6.35 | Spojeni silicij | < 30 fs² |
| RFS-1.5-9.5-UM1 | 355 - 455 | 38.1 | 9.50 | Spojeni silicij | < 30 fs² |
| RFS-2-9.5-UM1 | 355 - 455 | 50.8 | 9.50 | Spojeni silicij | < 30 fs² |
4. Tražite pouzdanog dobavljača UV ogledala?
S našim najsuvremenijim objektima i golemim iskustvom, Wavelength Opto-Electronic dizajnira i proizvodi kvalitetno optička zrcala uključujući UV ogledala koja dolaze u različitim geometrijama i opcijama premaza. Iako su gotova rješenja lako dostupna (kao što je prikazano u gornjim tablicama proizvoda), također smo u mogućnosti prilagoditi UV ogledala od standardnih do specifikacija visoke preciznosti i koriste različite optičke materijale od stakla, kristala do metala.
| Tolerancija | Standard | Preciznost | Visoka preciznost |
| supstrati | Staklo: N-BK7, topljeni silicij | ||
| Kristal: ZnSe, Si | |||
| Metal: Cu, Al, Mo | |||
| Dimenzije | Minimalno: 4 mm, Maksimalno: 200 mm | ||
| Oblici/geometrije | Eliptični, ravni, sferni, parabolični | ||
| Dimenzija | ± 0.25mm | ± 0.1mm | ± 0.05mm |
| Debljina | ± 0.1mm | ± 0.05mm | ± 0.01mm |
| Raspon valne duljine | 350 nm-20 μm | 350 nm-20 μm | 350 nm-20 μm |
| Monotonost | 2λ | λ / 4 | λ / 10 |
| reflektivnost | 85% | 90% | 99.9% |
| Mogućnosti premazivanja | Metalik, širokopojasni dielektrik, uskopojasni dielektrik, | ||
| Kvaliteta površine | 80-50 | 40-20 | 10-5 |




