Nota de aplicación de fabricación de precisión de óptica superpulida

Para habilitar la aplicación láser de alta potencia

Uno de los motores tecnológicos en el servicio de fotónica de alto valor agregado se encuentra en el área de los láseres de alta potencia y sus aplicaciones, que van desde la ciencia hasta el procesamiento de materiales de precisión. Las aplicaciones de óptica láser de alta potencia y óptica de precisión requieren una calidad óptica estricta. Dichos procesos de fabricación ofrecen nuevas capacidades, incluido el desarrollo de materiales, técnicas de pulido, técnicas de recubrimiento y tecnologías de metrología. Esta nota de aplicación describe específicamente nuestra nueva capacidad de superpulido.

Principio de la operación

Una capacidad de súper pulido para la óptica puede producir superficies extremadamente suaves en ventanas, espejos y otras ópticas planas de varios tamaños, espesores y materiales. Las superficies súper pulidas se refieren a superficies con una rugosidad de menos de 1 nm. Todo el proceso de superpulido incluyó un pulido multieje más un pulido abrasivo magnético, como se muestra en la Fig. 1. Después de la fabricación, se utilizó un microscopio de fuerza atómica (AFM) para medir la rugosidad de la superficie sobre un área de interés, como se muestra en la Fig. 2. El valor medio de rugosidad medido es inferior a 5 Å.

Óptica súper pulida 1
Figura 1. Un proceso de dos pasos de la técnica de superpulido
Óptica súper pulida 2
Figura 2. Microscopio de fuerza atómica y medición de rugosidad superficial.

El proceso de súper pulido mencionado anteriormente es aplicable a varios tipos de materiales ópticos. Algunos materiales de uso común y sus propiedades se enumeran en la Tabla 1.

MaterialÍndice (588nm)Transmisión (um)Uniformidad ópticaUniformidad de tensión (nm/cm)
H-K9L1.51640.33- 2.12x10e-62
JGS11.45860.185- 2.58x10e-62-4
Hereo 3131.45860.185- 2.5<10e-5≤ 5
corning 79801.45860.185- 2.5–≤ 5
Tabla 1. Lista de algunos materiales de vidrio óptico típicos para superpulido.

Aplicaciones de la óptica superpulida

Con las nuevas capacidades en óptica súper pulida, el manejo de potencia de espejos/lentes/ventanas se ha incrementado dramáticamente.

Esto amplía nuevos mercados, especialmente en el área de:

  • Espectroscopia de absorción mejorada por cavidad (CEAS)
  • Giroscopio láser de anillo (RLG)
  • Láser verde HeNe para microscopía confocal y citometría de flujo
Óptica súper pulida 3
Figura 3. Aplicación de óptica de alta calidad. Cortesía de fotos: Raycus,
Laboratorio de Investigación SIOM y Temasek
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