Weißlicht-Bildgebung und dynamisches Interferometer
Für präzise Echtzeitmessungen in komplexen Industrieumgebungen bieten unsere Interferometer die optimale Lösung. Das industrietaugliche Transienteninterferometer überwacht Vibrationen und dynamische Ereignisse, während das Weißlichtinterferometer eine schnelle, berührungslose Prüfung kritischer Bauteile wie Halbleiterwafer ermöglicht und dank fortschrittlicher Verarbeitung zuverlässige Genauigkeit liefert.
| Artikelnummer | Modell WL_NanoWhite25 Dieses industrietaugliche Weißlichtinterferometer ermöglicht schnelle, berührungslose Messungen selbst in anspruchsvollen Umgebungen wie der Halbleiter- und Optikfertigung. Es nutzt fortschrittliche Algorithmen, um hochpräzise und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. | Modell WL_Dynamic25 Dieses transiente Interferometer erfasst Echtzeitdaten über Vibrationen und andere transiente Ereignisse, selbst in anspruchsvollen industriellen Umgebungen. |
| Messbarer Parameter | Messung der 3D-Oberflächentopographie, Rauheit, Stufenhöhe und Schichtdicke von reflektierenden Materialien und optischen Komponenten | Messung der Oberflächenmorphologie von reflektierenden Materialien und optischen Elementen sowie der Transmissionswellenfront von transparenten optischen Elementen und Abbildungssystemen |
| Datenerfassungsmodus | Vertikale Abtastinterferometrie (VSI) und Phasenverschiebungsinterferometrie | vibrationsunempfindliches, instantanes interferometrisches Messverfahren |
| Kalibriersystem | Kombination von auf NIST rückführbaren Standards mit automatischen Kalibrierungsalgorithmen | Kombination aus präziser Fadenkreuzausrichtung und schneller Ausrichtung |
| Messbereich | 10 mm (VSI) / 150 nm (PSI) | Strahldurchmesser: 1 Zoll (25 mm) |
| Sehfeld | 20×: 0.87×0.65 mm | Feldwinkelausrichtung: ±0.5 Grad |
| Kameraparameter | Auflösung: 2048 × 2448 | Maximale Bildrate: 60 fps | Digitalausgang: 12 Bit | Auflösung: 4096 × 3000 Pixel | Maximale Bildwiederholfrequenz: 45 Hz | Digitalausgang: 12 Bit |
| Scangeschwindigkeit | 1 mm/s (Schnellmodus) 100 μm/s (Präzisionsmodus) | Belichtungszeit: ≥50 µs |
| Optischer Zoom | 5× / 10× / 20× / 50× Ziele | Zoom |
| Installationsmethode | Aktive Schwingungsdämpfungsplattform, horizontale oder vertikale Montage | Horizontale oder vertikale Installation |
| Abmessungen | × × 120 80 65 cm | × × 55 24 12 cm |
| Gewicht | ≤ 58 kg | ≤ 28 kg |
