UV zrcadla: Odrážející budoucnost optických systémů
Autor: Bryan Ng – marketingový manažer
Střih: Qu Yingli – ředitel výzkumu a vývoje
Vydáno dne:
Naposledy upraveno:
1. Pochopení UV zrcadel
Optická zrcadla mají reflexní povrchy, které mohou odrážet světlo, a obvykle se používají ke skládání nebo zhutňování optického systému. UV zrcadla jsou specializovaná zrcadla vyrobená k odrážení ultrafialového (UV) světla. Tyto typy zrcadel se běžně používají v různých aplikacích, jako je lékařské zobrazování, výroba polovodičů, fluorescenční mikroskopie a dokonce i astronomie.
UV zrcadla vyžadují výběr specifických materiálů a povlaků. Různé aplikace UV odrazivosti zrcadel se liší při různých vlnových délkách v důsledku kombinace faktorů, jako je materiál substrátu, tloušťka a složení povlaků a úhel dopadu. Pochopení a posouzení toho, jak tyto faktory ovlivňují vlastnosti UV světla, je zásadní pro navrhování zrcadel pro konkrétní aplikace.
2. Aplikace UV zrcadel
2.1 Zdravotnický průmysl
UV zrcadla mají široký rozsah použití v lékařské oblasti. V lékařském zobrazování existují různé zobrazovací techniky, jako je fluorescenční mikroskopie, které spoléhají na UV fluorescenci. To zlepšuje vizualizaci specifických biologických markerů a pomáhá při diagnostice onemocnění. Mezi další použití takových zrcadel patří UV sterilizace lékařského vybavení a vytvrzování dentálních materiálů ve stomatologii.
2.2 Výroba polovodičů
Polovodičový průmysl spoléhá na UV zrcadla pro fotolitografické procesy, což je zásadní krok ve výrobě integrovaných obvodů. UV zrcadla se používají k přesnému vzorování křemíkových čipů nasměrováním a zaostřením ultrafialového světla na polovodičové destičky potažené fotorezistem. To zajišťuje výrobu menších a účinnějších elektronických součástek.
2.3 Laserové systémy
Různé UV laserové systémy využívají UV zrcadla k řízení UV světla. Tyto lasery se pohybují od laserů s relativně nízkým výkonem používaných v chirurgii LASIK až po lasery s mnohem vyšším výkonem používané v oblasti bezpečnosti. V závislosti na výkonu a frekvenci laseru mohou být pro takové aplikace vyžadována specializovaná UV zrcadla. Například laser s vyšším výkonem může vyžadovat zrcadlo, které má vyšší tepelnou toleranci a může rychle odvádět teplo, zatímco zrcadlo používané v přesnějších aplikacích, jako je oční chirurgie LASIK, by vyžadovalo vyšší kvalitu povrchu.
3. Typy UV zrcadel
Různé typy UV zrcadel lze odlišit pomocí materiálů, z nichž se skládají, a výrobních procesů. Nejběžnější UV zrcadla jsou dielektrická zrcadla nebo zrcadla pokovená. UV zrcadla se mohou také odlišovat aplikací, pro kterou jsou určena. Často se jedná o přizpůsobené verze dielektrických zrcadel a zrcadel s kovovým povlakem s různými substráty, povlaky, tloušťkami a výrobními procesy. Některé běžně používané typy zrcadel jsou laserová zrcadla a ultrarychlá zrcadla.
3.1 Širokopásmová dielektrická zrcadla
Materiál: BK7 nebo tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 90%
Odrazivost: > 99%
Úhel dopadu: 45°
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm na rozsah 25 mm
Zkosení: Ochranný <0.5mmx45°
Povlak: Dielektrikum HR
Práh poškození: >5J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm
Specifikace 1: Wavelength Opto-Electronic Širokopásmová dielektrická zrcadla
Širokopásmová dielektrická zrcadla jsou navržena tak, aby vykazovala vysokou odrazivost v širokém rozsahu vlnových délek v rámci elektromagnetického spektra. Na rozdíl od konvenčních zrcadel, která jsou optimalizována pro odraz na dané vlnové délce nebo v úzkém spektrálním pásmu, jsou širokopásmová dielektrická zrcadla navržena tak, aby efektivně odrážela světlo v širokém rozsahu frekvencí, včetně UV, viditelného a infračerveného (IR) záření.
| Číslo | Vlnová délka (nm) | Rozměry (mm) | Tloušťka (mm) | Materiál | Odrazivost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-B1 | 350 - 400 | 25.4 | 6.35 | Tavená silika | > 99 |
| RFS-30-5-B1 | 350 - 400 | 30.0 | 5.00 | Tavená silika | > 99 |
| RFS-1.5-6.35-B1 | 350 - 400 | 38.1 | 6.35 | Tavená silika | > 99 |
| RFS-1.5-9.5-B1 | 350 - 400 | 38.1 | 9.50 | Tavená silika | > 99 |
| RFS-2-9.5-B1 | 350 - 400 | 50.8 | 9.50 | Tavená silika | > 99 |
Tato zrcadla jsou vyrobena nanášením více dielektrických materiálů s měnícími se indexy lomu na substrát. Uspořádání a tloušťka těchto materiálů vytváří interferenční efekty, které zvyšují odrazivost zrcadla v širokém spektru. To umožňuje přizpůsobit zrcadlo podle konkrétních aplikací a potřeb. Jsou robustnější a odolnější vůči vlivům prostředí než zrcadla s kovovým povrchem. Výrobní proces však není tak přímočarý, což z něj činí nákladnější produkt ve výrobě ve srovnání s jeho pokoveným protějškem.
3.2 Kovová zrcadla
Materiál: BK7 nebo tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 90%
Úhel dopadu: 45°
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm
Chráněný hliník: Ravg>90% @ 400nm-2um
Chráněné stříbro: Ravg>97 % @ 400 nm-2 um
Práh poškození: >1 J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm
Specifikace 2: Wavelength Opto-Electronic Širokopásmová kovová zrcadla
Zrcadla s kovovým povlakem pro UV záření se vyrábějí potažením vhodného substrátu tenkou vrstvou kovového filmu z hliníku nebo stříbra pomocí různých technik, jako je fyzikální nanášení z plynné fáze (PVD) nebo chemická nanášení z plynné fáze (CVD). Hliník a stříbro jsou dva běžné kovy používané pro povlaky v těchto zrcadlech. Zrcadla s hliníkovým povlakem jsou cenově výhodná a široce používaná pro UV aplikace, protože vykazují vynikající odrazivost. Hliníkové povlaky však mohou být časem náchylné k oxidaci, což může ovlivnit jejich odrazivost. Taková zrcadla vyžadují častou údržbu a preventivní opatření, aby si zachovala svou odrazivost.
| Číslo | Vlnová délka | Rozměry (mm) | Tloušťka (mm) | Materiál | Odrazivost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-A | 450 nm – 20 um | 25.4 | 6.35 | Tavená silika | > 90 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-30-5-A | 450 nm – 20 um | 30.0 | 5.00 | Tavená silika | > 90 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-1.5-6.35-A | 450 nm – 20 um | 38.1 | 6.35 | Tavená silika | > 90 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-1.5-9.5-A | 450 nm – 20 um | 38.1 | 9.50 | Tavená silika | > 90 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-2-9.5-A | 450 nm – 20 um | 50.8 | 9.50 | Tavená silika | > 90 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-1-6.35-S | 450 nm – 20 um | 25.4 | 6.35 | Tavená silika | > 97 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-30-5-S | 450 nm – 20 um | 30.0 | 5.00 | Tavená silika | > 97 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-1.5-6.35-S | 450 nm – 20 um | 38.1 | 6.35 | Tavená silika | > 97 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-1.5-9.5-S | 450 nm – 20 um | 38.1 | 9.50 | Tavená silika | > 97 % @ 450 nm – 2 µm |
| RFS-2-9.5-S | 450 nm – 20 um | 50.8 | 9.50 | Tavená silika | > 97 % @ 450 nm – 2 µm |
UV zrcadla se mohou také odlišovat aplikací, pro kterou jsou určena. Často se jedná o přizpůsobené verze dielektrických zrcadel a zrcadel s kovovým povlakem s různými substráty, povlaky, tloušťkami a výrobními procesy. Některé běžně používané typy zrcadel jsou laserová zrcadla a ultrarychlá zrcadla.
3.3 Laserová čárová zrcadla
Materiál substrátu: N-BK7 a tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.25 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.25mm
Kvalita povrchu: 10/5 SD
Jasná clona: > 90%
Odrazivost: >99 % při 45°
Úhel dopadu: 0-45 °
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm
Skupinová zpožděná disperze: < 30fs² (pro s a p-polarizované světlo)
Povlak: HR @ 350-400nm / 510-580nm / 950-1150nm
Prahová hodnota poškození @ 20ns, 20Hz: 20 J/cm2 pro 1064nm / 15 J/cm2 pro 532nm / 10 J/cm2 pro 355 nm
Specifikace 3: Wavelength Opto-Electronic Laserová čárová zrcadla
Zrcadla pro laserové čáry jsou ideální pro aplikace, které vyžadují odraz nebo přesměrování laserových paprsků, zejména v úlohách, jako je řízení nebo ohýbání paprsku. Tato zrcadla jsou navržena s vyššími prahy poškození pro vysoce výkonné lasery. Tato zrcadla se běžně používají pro neodymové YAG lasery, ale lze je také upravit pro lasery v UV spektru.
| Číslo | Vlnová délka (nm) | Dia (mm) | ET (mm) | Materiál | Odrazivost (%) |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-0.75-3.2U | 355 | 19.1 | 3.2 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-0.75-9.5U | 355 | 19.1 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-20-2U | 355 | 20 | 2 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1-3U | 355 | 25.4 | 3 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1-6U | 355 | 25.4 | 6 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1-6.3U | 355 | 25.4 | 6.3 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1-9.5U | 355 | 25.4 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-30-5U | 355 | 30.1 | 5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1.5-3U | 355 | 38.1 | 3 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1.5-9.5U | 355 | 38.1 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-38.5-3U | 355 | 38.5 | 3 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-50-5U | 355 | 50 | 5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-2-6.3U | 355 | 50.8 | 6.3 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-2-9.5U | 355 | 50.8 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1-9.5V | 266 | 25.4 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-30-5V | 266 | 30 | 5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-1.5-9.5V | 266 | 38.1 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
| RFS-2-9.5V | 266 | 50.8 | 9.5 | Tavená silika | 99.5 |
3.4 Ultrarychlá zrcadla
Materiál: Tavená silika
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 80%
Odrazivost: > 99%
Úhel dopadu: 45°
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm
Skupinová zpožděná disperze: < 30fs² (pro s a p-polarizované světlo)
Povlak: HR
Práh poškození: >100mJ/cm² @ 800nm, 50fs, 50Hz
Specifikace 4: Wavelength Opto-Electronic Ultrarychlá zrcadla
Ultrarychlá zrcadla jsou navržena pro ultrarychlé lasery. Jedná se o lasery, které emitují ultrakrátké pulzy, tj. světelné pulzy s dobou trvání femtosekund nebo pikosekund. Tato zrcadla mají vysoké prahy poškození a nízké skupinové disperzní zpoždění (GDD). GDD je míra, o kolik jsou různé frekvence v pulzu vzájemně zpožděny. Zrcadlo s nízkým GDD je nezbytné, když je kritické řídit časové charakteristiky ultrakrátkých laserových pulzů.

Výše uvedený graf je pro ultrarychlé zrcadlo z taveného oxidu křemičitého. Jak je znázorněno, zrcadlo má GDD menší než 30 fs² (pro s & p-polarizované světlo), mezi 370nm a 420nm. Díky této vlastnosti jsou tato zrcadla velmi užitečná v oblastech, jako je spektroskopie, zpracování materiálů a lékařský průmysl.
| Číslo | Vlnová délka (nm) | Rozměry (mm) | Tloušťka (mm) | Materiál | Skupinová zpožděná disperze |
|---|---|---|---|---|---|
| RFS-1-6.35-UM1 | 355 - 455 | 25.4 | 6.35 | Tavená silika | < 30 fs² |
| RFS-30-5-UM1 | 355 - 455 | 30.0 | 5.00 | Tavená silika | < 30 fs² |
| RFS-1.5-6.35-UM1 | 355 - 455 | 38.1 | 6.35 | Tavená silika | < 30 fs² |
| RFS-1.5-9.5-UM1 | 355 - 455 | 38.1 | 9.50 | Tavená silika | < 30 fs² |
| RFS-2-9.5-UM1 | 355 - 455 | 50.8 | 9.50 | Tavená silika | < 30 fs² |
4. Hledáte spolehlivého dodavatele UV zrcadel?
Díky našim nejmodernějším zařízením a rozsáhlým zkušenostem Wavelength Opto-Electronic navrhuje a vyrábí kvalitní optická zrcadla včetně UV zrcadel, která se dodávají v různých geometriích a možnostech povrchové úpravy. Přestože jsou běžně dostupná řešení (jak je uvedeno ve výše uvedených tabulkách produktů), jsme schopni přizpůsobit UV zrcadla od standardních až po vysoce přesné specifikace a využívají různé optické materiály od skla, krystalu až po kov.
| Tolerance | Standard | Přesnost | Vysoká přesnost |
| Substráty | Sklo: N-BK7, tavený oxid křemičitý | ||
| Krystal: ZnSe, Si | |||
| Kov: Cu, Al, Mo | |||
| Rozměry | Minimum: 4 mm, Maximum: 200 mm | ||
| Tvary/geometrie | Eliptické, ploché, sférické, parabolické | ||
| Dimenze | ± 0.25mm | ± 0.1mm | ± 0.05mm |
| Tloušťka | ± 0.1mm | ± 0.05mm | ± 0.01mm |
| Rozsah vlnových délek | 350 nm - 20 μm | 350 nm - 20 μm | 350 nm - 20 μm |
| Plochost | 2λ | λ / 4 | λ / 10 |
| Odrazivost | 85% | 90% | 99.9% |
| Možnosti povrchové úpravy | Kovové, širokopásmové dielektrikum, úzkopásmové dielektrikum, | ||
| Kvalita povrchu | 80-50 | 40-20 | 10-5 |




