UV zrcadla: Odrážející budoucnost optických systémů

Autor: Bryan Ng – marketingový manažer

Střih: Qu Yingli – ředitel výzkumu a vývoje

Vydáno dne:

Naposledy upraveno:

1. Pochopení UV zrcadel

Optická zrcadla mají reflexní povrchy, které mohou odrážet světlo, a obvykle se používají ke skládání nebo zhutňování optického systému. UV zrcadla jsou specializovaná zrcadla vyrobená k odrážení ultrafialového (UV) světla. Tyto typy zrcadel se běžně používají v různých aplikacích, jako je lékařské zobrazování, výroba polovodičů, fluorescenční mikroskopie a dokonce i astronomie.

UV zrcadla vyžadují výběr specifických materiálů a povlaků. Různé aplikace UV odrazivosti zrcadel se liší při různých vlnových délkách v důsledku kombinace faktorů, jako je materiál substrátu, tloušťka a složení povlaků a úhel dopadu. Pochopení a posouzení toho, jak tyto faktory ovlivňují vlastnosti UV světla, je zásadní pro navrhování zrcadel pro konkrétní aplikace.

2. Aplikace UV zrcadel

2.1 Zdravotnický průmysl

UV zrcadla mají široký rozsah použití v lékařské oblasti. V lékařském zobrazování existují různé zobrazovací techniky, jako je fluorescenční mikroskopie, které spoléhají na UV fluorescenci. To zlepšuje vizualizaci specifických biologických markerů a pomáhá při diagnostice onemocnění. Mezi další použití takových zrcadel patří UV sterilizace lékařského vybavení a vytvrzování dentálních materiálů ve stomatologii.

2.2 Výroba polovodičů

Polovodičový průmysl spoléhá na UV zrcadla pro fotolitografické procesy, což je zásadní krok ve výrobě integrovaných obvodů. UV zrcadla se používají k přesnému vzorování křemíkových čipů nasměrováním a zaostřením ultrafialového světla na polovodičové destičky potažené fotorezistem. To zajišťuje výrobu menších a účinnějších elektronických součástek.

2.3 Laserové systémy

Různé UV laserové systémy využívají UV zrcadla k řízení UV světla. Tyto lasery se pohybují od laserů s relativně nízkým výkonem používaných v chirurgii LASIK až po lasery s mnohem vyšším výkonem používané v oblasti bezpečnosti. V závislosti na výkonu a frekvenci laseru mohou být pro takové aplikace vyžadována specializovaná UV zrcadla. Například laser s vyšším výkonem může vyžadovat zrcadlo, které má vyšší tepelnou toleranci a může rychle odvádět teplo, zatímco zrcadlo používané v přesnějších aplikacích, jako je oční chirurgie LASIK, by vyžadovalo vyšší kvalitu povrchu.

3. Typy UV zrcadel

Různé typy UV zrcadel lze odlišit pomocí materiálů, z nichž se skládají, a výrobních procesů. Nejběžnější UV zrcadla jsou dielektrická zrcadla nebo zrcadla pokovená. UV zrcadla se mohou také odlišovat aplikací, pro kterou jsou určena. Často se jedná o přizpůsobené verze dielektrických zrcadel a zrcadel s kovovým povlakem s různými substráty, povlaky, tloušťkami a výrobními procesy. Některé běžně používané typy zrcadel jsou laserová zrcadla a ultrarychlá zrcadla.

3.1 Širokopásmová dielektrická zrcadla

Optická zrcadla Širokopásmová zrcadla
Wavelength Opto-Electronic Širokopásmová dielektrická zrcadla

Materiál: BK7 nebo tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 90%
Odrazivost: > 99%
Úhel dopadu: 45°
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm na rozsah 25 mm
Zkosení: Ochranný <0.5mmx45°
Povlak: Dielektrikum HR
Práh poškození: >5J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm

Specifikace 1: Wavelength Opto-Electronic Širokopásmová dielektrická zrcadla

Širokopásmová dielektrická zrcadla jsou navržena tak, aby vykazovala vysokou odrazivost v širokém rozsahu vlnových délek v rámci elektromagnetického spektra. Na rozdíl od konvenčních zrcadel, která jsou optimalizována pro odraz na dané vlnové délce nebo v úzkém spektrálním pásmu, jsou širokopásmová dielektrická zrcadla navržena tak, aby efektivně odrážela světlo v širokém rozsahu frekvencí, včetně UV, viditelného a infračerveného (IR) záření.

ČísloVlnová délka (nm)Rozměry (mm)Tloušťka (mm)MateriálOdrazivost (%)
RFS-1-6.35-B1350 - 40025.46.35Tavená silika> 99
RFS-30-5-B1350 - 40030.05.00Tavená silika> 99
RFS-1.5-6.35-B1350 - 40038.16.35Tavená silika> 99
RFS-1.5-9.5-B1350 - 40038.19.50Tavená silika> 99
RFS-2-9.5-B1350 - 40050.89.50Tavená silika> 99
Tabulka 1: Wavelength Opto-Electronic Standardní širokopásmová dielektrická UV zrcadla

Tato zrcadla jsou vyrobena nanášením více dielektrických materiálů s měnícími se indexy lomu na substrát. Uspořádání a tloušťka těchto materiálů vytváří interferenční efekty, které zvyšují odrazivost zrcadla v širokém spektru. To umožňuje přizpůsobit zrcadlo podle konkrétních aplikací a potřeb. Jsou robustnější a odolnější vůči vlivům prostředí než zrcadla s kovovým povrchem. Výrobní proces však není tak přímočarý, což z něj činí nákladnější produkt ve výrobě ve srovnání s jeho pokoveným protějškem.

3.2 Kovová zrcadla

Optická zrcadla Širokopásmová kovová zrcadla
Wavelength Opto-Electronic Širokopásmové kovové zrcadlo

Materiál: BK7 nebo tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 90%
Úhel dopadu: 45°
Plochost:  < λ/10 @ 632.8 nm
Chráněný hliník: Ravg>90% @ 400nm-2um
Chráněné stříbro: Ravg>97 % @ 400 nm-2 um
Práh poškození: >1 J/cm², 20ns, 20Hz, @1064nm

Specifikace 2: Wavelength Opto-Electronic Širokopásmová kovová zrcadla

Zrcadla s kovovým povlakem pro UV záření se vyrábějí potažením vhodného substrátu tenkou vrstvou kovového filmu z hliníku nebo stříbra pomocí různých technik, jako je fyzikální nanášení z plynné fáze (PVD) nebo chemická nanášení z plynné fáze (CVD). Hliník a stříbro jsou dva běžné kovy používané pro povlaky v těchto zrcadlech. Zrcadla s hliníkovým povlakem jsou cenově výhodná a široce používaná pro UV aplikace, protože vykazují vynikající odrazivost. Hliníkové povlaky však mohou být časem náchylné k oxidaci, což může ovlivnit jejich odrazivost. Taková zrcadla vyžadují častou údržbu a preventivní opatření, aby si zachovala svou odrazivost.

ČísloVlnová délkaRozměry (mm)Tloušťka (mm)MateriálOdrazivost (%)
RFS-1-6.35-A450 nm – 20 um25.46.35Tavená silika> 90 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-30-5-A450 nm – 20 um30.05.00Tavená silika> 90 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-1.5-6.35-A450 nm – 20 um38.16.35Tavená silika> 90 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-1.5-9.5-A450 nm – 20 um38.19.50Tavená silika> 90 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-2-9.5-A450 nm – 20 um50.89.50Tavená silika> 90 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-1-6.35-S450 nm – 20 um25.46.35Tavená silika> 97 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-30-5-S450 nm – 20 um30.05.00Tavená silika> 97 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-1.5-6.35-S450 nm – 20 um38.16.35Tavená silika> 97 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-1.5-9.5-S450 nm – 20 um38.19.50Tavená silika> 97 % @ 450 nm – 2 µm
RFS-2-9.5-S450 nm – 20 um50.89.50Tavená silika> 97 % @ 450 nm – 2 µm
Tabulka 2: Wavelength Opto-Electronic Standardní širokopásmová kovová zrcadla

UV zrcadla se mohou také odlišovat aplikací, pro kterou jsou určena. Často se jedná o přizpůsobené verze dielektrických zrcadel a zrcadel s kovovým povlakem s různými substráty, povlaky, tloušťkami a výrobními procesy. Některé běžně používané typy zrcadel jsou laserová zrcadla a ultrarychlá zrcadla.

3.3 Laserová čárová zrcadla

Laserová optika - Optická zrcadla - Laserová čárová zrcadla
Wavelength Opto-Electronic Laserová čárová zrcadla

Materiál substrátu: N-BK7 a tavený oxid křemičitý
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.25 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.25mm
Kvalita povrchu: 10/5 SD
Jasná clona: > 90%
Odrazivost: >99 % při 45°
Úhel dopadu: 0-45 °
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm
Skupinová zpožděná disperze: < 30fs² (pro s a p-polarizované světlo)
Povlak: HR @ 350-400nm / 510-580nm / 950-1150nm
Prahová hodnota poškození @ 20ns, 20Hz: 20 J/cm2 pro 1064nm / 15 J/cm2 pro 532nm / 10 J/cm2 pro 355 nm

Specifikace 3: Wavelength Opto-Electronic Laserová čárová zrcadla

Zrcadla pro laserové čáry jsou ideální pro aplikace, které vyžadují odraz nebo přesměrování laserových paprsků, zejména v úlohách, jako je řízení nebo ohýbání paprsku. Tato zrcadla jsou navržena s vyššími prahy poškození pro vysoce výkonné lasery. Tato zrcadla se běžně používají pro neodymové YAG lasery, ale lze je také upravit pro lasery v UV spektru.

ČísloVlnová délka (nm)Dia (mm)ET (mm)MateriálOdrazivost (%)
RFS-0.75-3.2U35519.13.2Tavená silika99.5
RFS-0.75-9.5U35519.19.5Tavená silika99.5
RFS-20-2U355202Tavená silika99.5
RFS-1-3U35525.43Tavená silika99.5
RFS-1-6U35525.46Tavená silika99.5
RFS-1-6.3U35525.46.3Tavená silika99.5
RFS-1-9.5U35525.49.5Tavená silika99.5
RFS-30-5U35530.15Tavená silika99.5
RFS-1.5-3U35538.13Tavená silika99.5
RFS-1.5-9.5U35538.19.5Tavená silika99.5
RFS-38.5-3U35538.53Tavená silika99.5
RFS-50-5U355505Tavená silika99.5
RFS-2-6.3U35550.86.3Tavená silika99.5
RFS-2-9.5U35550.89.5Tavená silika99.5
RFS-1-9.5V26625.49.5Tavená silika99.5
RFS-30-5V266305Tavená silika99.5
RFS-1.5-9.5V26638.19.5Tavená silika99.5
RFS-2-9.5V26650.89.5Tavená silika99.5
Tabulka 3: Wavelength Opto-Electronic Standardní laserová čárová zrcadla

3.4 Ultrarychlá zrcadla

Optická zrcadla - Ultrafast zrcadla - Zaostřovací čočky - Lékařské laserové čočky
Wavelength Opto-Electronic Ultrarychlé zrcadlo

Materiál: Tavená silika
Tolerance rozměrů: + 0.0 / -0.2 mm
Tolerance tloušťky: ± 0.2mm
Kvalita povrchu: 20/10 SD
Jasná clona: > 80%
Odrazivost: > 99%
Úhel dopadu: 45°
Plochost: < λ/10 @ 632.8 nm
Skupinová zpožděná disperze: < 30fs² (pro s a p-polarizované světlo)
Povlak: HR
Práh poškození: >100mJ/cm² @ 800nm, 50fs, 50Hz

Specifikace 4: Wavelength Opto-Electronic Ultrarychlá zrcadla

Ultrarychlá zrcadla jsou navržena pro ultrarychlé lasery. Jedná se o lasery, které emitují ultrakrátké pulzy, tj. světelné pulzy s dobou trvání femtosekund nebo pikosekund. Tato zrcadla mají vysoké prahy poškození a nízké skupinové disperzní zpoždění (GDD). GDD je míra, o kolik jsou různé frekvence v pulzu vzájemně zpožděny. Zrcadlo s nízkým GDD je nezbytné, když je kritické řídit časové charakteristiky ultrakrátkých laserových pulzů.

Schéma ultrarychlých zrcadel 2
Obrázek 3: Ultrafast Mirrors GDD @ 355-455nm

Výše uvedený graf je pro ultrarychlé zrcadlo z taveného oxidu křemičitého. Jak je znázorněno, zrcadlo má GDD menší než 30 fs² (pro s & p-polarizované světlo), mezi 370nm a 420nm. Díky této vlastnosti jsou tato zrcadla velmi užitečná v oblastech, jako je spektroskopie, zpracování materiálů a lékařský průmysl.

ČísloVlnová délka (nm)Rozměry (mm)Tloušťka (mm)MateriálSkupinová zpožděná disperze
RFS-1-6.35-UM1355 - 45525.46.35Tavená silika< 30 fs²
RFS-30-5-UM1355 - 45530.05.00Tavená silika< 30 fs²
RFS-1.5-6.35-UM1355 - 45538.16.35Tavená silika< 30 fs²
RFS-1.5-9.5-UM1355 - 45538.19.50Tavená silika< 30 fs²
RFS-2-9.5-UM1355 - 45550.89.50Tavená silika< 30 fs²
Tabulka 4: Wavelength Opto-Electronic Standardní ultrarychlé zrcadlo

4. Hledáte spolehlivého dodavatele UV zrcadel?

Díky našim nejmodernějším zařízením a rozsáhlým zkušenostem Wavelength Opto-Electronic navrhuje a vyrábí kvalitní optická zrcadla včetně UV zrcadel, která se dodávají v různých geometriích a možnostech povrchové úpravy. Přestože jsou běžně dostupná řešení (jak je uvedeno ve výše uvedených tabulkách produktů), jsme schopni přizpůsobit UV zrcadla od standardních až po vysoce přesné specifikace a využívají různé optické materiály od skla, krystalu až po kov.

ToleranceStandardPřesnostVysoká přesnost
SubstrátySklo: N-BK7, tavený oxid křemičitý
Krystal: ZnSe, Si
Kov: Cu, Al, Mo
RozměryMinimum: 4 mm, Maximum: 200 mm
Tvary/geometrieEliptické, ploché, sférické, parabolické
Dimenze± 0.25mm± 0.1mm± 0.05mm
Tloušťka± 0.1mm± 0.05mm± 0.01mm
Rozsah vlnových délek350 nm - 20 μm350 nm - 20 μm350 nm - 20 μm
Plochost2λλ / 4λ / 10
Odrazivost85%90%99.9%
Možnosti povrchové úpravyKovové, širokopásmové dielektrikum, úzkopásmové dielektrikum,
Kvalita povrchu80-5040-2010-5
Tabulka 5: Wavelength Opto-Electronic Možnosti výroby optických zrcadel
Přejděte na začátek

Poptávkový formulář

Kontaktní formulář stránky produktu

Doporučujeme používat e-mail vaší organizace s vlastní doménou (pokud existuje).

×
Osoba
Ahoj! Neváhejte se zeptat pomocí tlačítka RFQ 👇 - Bryan Ng